FQB3 是 種電子質(zhì)量流量控制器，它包含 個(gè)集成的機(jī)械流量放大器，可產(chǎn)生高達(dá) 30 SCFM 的流量。在出廠時(shí)，F(xiàn)QB3 質(zhì)量流量控制器與 F 系列高速質(zhì)量流量傳感器結(jié)合使用。FQB3 控制器的設(shè)定點(diǎn)命令導(dǎo)致電子流量控制電路打開機(jī)械流量放大器，直到 F 系列流量傳感器檢測(cè)到的空氣質(zhì)量流量與電子設(shè)定點(diǎn)匹配。獨(dú)立于所需壓力的回路始終圍繞氣流閉合。
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