通過 MEMS 傳感器（微機電系統）記錄重力場中的傾角，隨后通過控制器進行數字化和線性化。MEMS 傳感器是使用硅體微機械技術制造的集成電路。借助可移動的微機械結構形成雙倍容量。如果這些結構在加速度的情況下發生偏轉，例如重力加速度 (g)，則會導致容量變化，這些變化會通過測量技術進行記錄和進 步處理。輸出電壓遵循函數 U ~ g * sin α。在這種情況下，角度 α 是相對于 g 向量測量的傳感器傾斜角。這些傳感器測量精確、使用壽命長且非常堅固。測量軸彼此獨立運行。