由于快速訪問(wèn)緩沖區(qū)縮短了訪問(wèn)時(shí)間
操作員和 AMHS 可通過(guò)獨(dú)立的手動(dòng)和 OHT 裝載端口同時(shí)訪問(wèn)
市場(chǎng)上 高的存儲(chǔ)密度
自動(dòng)化標(biāo)線管理和可追溯性
增加掃描儀/光刻單元的正常運(yùn)行時(shí)間
降低標(biāo)線返工成本
保護(hù)掩模免受化學(xué)污染、霧霾和晶體生長(zhǎng)
增加曝光次數(shù)以延長(zhǎng)光罩壽命
高存儲(chǔ)密度
全自動(dòng)光罩處理
可靠、安全的處理，減少光罩和薄膜損壞
低擁有成本 (COO)
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